Čo je fotolitografia?
Fotolitografia je jedným z dôležitých procesov pri výrobe integrovaných obvodov (IC alebo čipov). Jednoducho povedané, je to proces kopírovania vzoru obvodu na substrát pomocou fotomasky a fotorezistu.
Podklad bude natretý na izolačnú vrstvu oxidu kremičitého a fotorezist. Fotorezist je možné po vystavení UV svetlu ľahko rozpustiť vývojkou, po rozpúšťaní a leptaní zostane vzor obvodu na substráte.
Čo je fotorezist? Prečo sa musí 500nm UV vlnová dĺžka blokovať?
Fotorezist je kombinovaný so živicami, rozpúšťadlami a prísadami. Rozsah fotocitlivosti fotorezistu je 200 nm-500nm. Preto mnohé laboratóriá polovodičov prijmú žlté svetlo, ktoré blokuje 500nm UV vlnovú dĺžku, aby sa zabránilo preexponovaniu alebo predčasne exponovanej situácii fotorezistu.
